輪廓同心度對(duì)晶體諧振器加速度的影響靈敏度

石英晶體諧振器一直是一個(gè)具有挑戰(zhàn)性的問題幾十年來的諧振器設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)對(duì)稱性諧振器和安裝組合已在過去的工作中展示過,無論是理論上還是實(shí)踐上,都要有很強(qiáng)的影響力加速度靈敏度,以及專業(yè)結(jié)構(gòu)開發(fā)大大提高了性能,但是,有機(jī)載雷達(dá)系統(tǒng)等應(yīng)用是對(duì)進(jìn)一步改進(jìn)的持續(xù)需求.

設(shè)計(jì)了許多實(shí)用的高穩(wěn)定度諧振器需要良好加速度靈敏度的產(chǎn)品也是受其他屬性約束,如高品質(zhì)因子,和這些約束通常會(huì)導(dǎo)致低頻泛音具有完全輪廓的諧振器元件設(shè)計(jì)的裝置,在這紙張,輪廓形狀的同心度對(duì)其影響考慮輪廓諧振器中的石英盤,結(jié)果如下提出表明之間有很強(qiáng)的相關(guān)性從空白中心和加速度的輪廓偏移諧振器的靈敏度,還描述了方法測(cè)量相對(duì)于周長的輪廓位置磁盤.

使用平面安裝設(shè)計(jì)配置定位與諧振器元件的中心平面如圖1所示外圈是一種牢固附著的剛性陶瓷結(jié)構(gòu)石英晶體基部和環(huán)和空白之間是一個(gè)基本上平面的陣列結(jié)構(gòu)也提供了減少在石英諧振器的靜態(tài)應(yīng)力下,這種設(shè)計(jì)方法有取得了優(yōu)異的性能,具有g敏感性的結(jié)果在某些情況下,低于10-10/g,同時(shí)Q仍然表現(xiàn)良好和相位噪聲,然而,通常情況下是水晶參數(shù),通常有性能分布每個(gè)制造組中的g敏感性,這導(dǎo)致產(chǎn)量生產(chǎn)調(diào)度中的問題和不可預(yù)測(cè)性,這里報(bào)道的工作旨在找到這些的根本原因異常結(jié)果,側(cè)重于輪廓同心度.

加速度靈敏度,有時(shí)稱為g敏感度,過去已經(jīng)廣泛討論了石英晶體諧振器的問題幾十年,該參數(shù)在應(yīng)用程序中最重要需要良好的相位噪聲,但設(shè)備暴露在哪里高振動(dòng)場(chǎng),一個(gè)很好的例子就是頻率直升機(jī)雷達(dá)系統(tǒng)的參考,理論工作由蒂爾斯滕和周等人基本上得出的結(jié)論是石英諧振器具有完美的空間對(duì)稱性諧振器元件和安裝結(jié)構(gòu)將呈現(xiàn)零g敏感性,設(shè)計(jì)師提出并實(shí)施了實(shí)用裝載設(shè)計(jì)近似對(duì)稱結(jié)構(gòu)的目的實(shí)現(xiàn)低加速度引起的頻移.

他們也看著使用精心定位的腫塊沉積在上面空白表面修改共振位置模式,從而提高g靈敏度,這種技術(shù)可能對(duì)于平面,高頻進(jìn)口諧振器設(shè)計(jì)非常有用,但在典型的低頻,低相位噪聲設(shè)計(jì)中,根據(jù)需要,空白幾何形狀是輪廓的,并且在這些情況下電極表面上的增量質(zhì)量負(fù)載變化對(duì)模式形狀的影響很小.很多別的作者討論了實(shí)踐和理論上的考慮實(shí)現(xiàn)低加速度靈敏度,包括還開發(fā)了實(shí)用的設(shè)計(jì)在法國從20世紀(jì)70年代起以高度的形式出現(xiàn)復(fù)雜的BVA結(jié)構(gòu),利用石英橋諧振器元件以及多個(gè)石英元件和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)為其提供對(duì)稱支撐諧振器.

已經(jīng)確定了幾種可用于的方法測(cè)量石英中輪廓形狀的同心度諧振器空白,在10MHz的頻率上建立了一個(gè)實(shí)驗(yàn)泛音QRM產(chǎn)品比較輪廓偏移與加速度靈敏度的測(cè)量值,正如預(yù)期的那樣這種晶振產(chǎn)品類型,兩者之間有明顯的相關(guān)性參數(shù),積極的結(jié)果促成了一系列的改進(jìn)輪廓加工過程的發(fā)展,以及導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品質(zhì)量的顯著提高讓.